GB50472—2008《电子工业洁净厂房设计规范》
GB51123-2015 《光纤器件生产厂工艺设计规范》
光纤器件无尘车间
4 生产环境要求和条件保障
4.1 生产环境要求
4.1.1 研磨抛光车间、熔融拉锥车间和平面波导法生产工艺车间温度宜保持在10℃~30℃之间,相对湿度宜保持在40%~75%。
4.1.2 研磨抛光车间、熔融拉锥车间、平面波导法生产工艺车间和组装封装车间应防微振,防微振等级应不低于三级。
4.1.3 研磨抛光车间、平面波导法生产工艺车间应为30万级及以上的厂房,熔融拉锥法生产工艺车间和光刻车间应为100万级以上的洁净厂房。
4.1.4 光栅制作场所应禁火禁油,保持通风。
4.1.5 调配胶场所应通风并防尘。
4.1.6 光路调试台环境噪声等级应不大于50dB。
4.1.7 组装封装车间应防尘。
4.2.4 研磨抛光工序、熔融拉锥工序和光刻工序应在洁净室,光纤耦合器和隔离器的组装封装宜在洁净区或洁净室。
4.2.5 洁净厂房内应设置人员净化和物料净化区。人员净化用室应包括雨具存放、换鞋管理存放和外衣更洁净工作服等房间。
7.4 采暖、通风、空气净化
7.4.1 光纤器件生产厂房洁净区空气洁净度等级宜为8级,换气次数宜为12至15次。
7.4.2 空调净化系统宜采用上送侧回或上送上回的送回风方式。
7.4.3 厂房室内温度宜为22℃±3℃,相对湿度宜为40%~60%。
7.4.5 生产中产生粉尘和有害气体的工艺设备,应设局部排风装置,
7.4.6 对排风介质中有害物应进行处理。
7.4.7 氢气使用房间应设置事故排风,排风应采取防爆措施。
光纤厂房
4.1.5 光纤厂房生产环境及动力品质应满足光纤生产工艺要求:
1 光纤厂房的洁净度等级和温度、相对湿度参数见表4.1.5。
6.1 空调净化与通风
6.1.1 光纤厂房的生产环境应满足生产工艺的要求,各生产房间的洁净度等级和温度、相对湿度应按本规范表4.1.5的规定取值。
6.1.2 新风宜集中进行空气净化处理,新风机组风机应变频控制,并且设置压差报警。
6.1.3 新风机组冷冻水供回温度宜为6℃~12℃,循环机组冷冻水供回温度宜为10℃~16℃;加热盘管宜采用热水为热媒。
6.1.4 初效、中效、高效三级空气过滤器可布置在空气处理机组内。
6.1.5 拉丝间的气流组织应符合下列要求:
1 拉丝间净化空调宜分层设置风口,每层宜采用上送下回的方式;
2 当拉丝塔设备配置了封闭的别的净化空气循环系统时,宜采用分层侧送侧回方式。
6.1.6 拉丝间净化空调送风量应计算每层工作平台的工艺设备发热量的差异。
6.1.7 拉丝塔设备的紫外固化装置送、排风系统应符合下列要求:
1 送风系统应独立设置,不得抽取室内净化空调空气作为送风,空调器内可设置表冷盘管、加热盘管以及初效、中效及亚高效空气过滤器,送风机组的风机压头应计算工艺设备内部阻力;
2 排风系统可高空排放;
3 热排风风管应采用耐高温耐高压的材料;
4 涂覆挥发物排风风管应采用耐腐蚀的材料。
6.1.8 拉丝间宜设置机械排烟系统。
●N9级~N5级微电子无尘车间、光电净化车间设计施工;
●Ⅰ~Ⅳ级SC食品工业洁净用房设计、建造;
●Ⅰ~Ⅳ级医院洁净手术部、ICU、、供应室设计、安装及维护保养;
●A~D级GMP医药工业洁净厂房设计、建造及维护保养;
●30万级~100级医疗器械净化车间、消毒用品车间设计施工;
●生物安全、动物实验室及其他行业通风净化系统设计、建造及维护保养;
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